Micro și Nano-Tehnologii

1. Scopul lucrarii:

Cunoasterea particularitatilor de prelucrareale pieselor optice si a modului in care se controleaza piesa in urma slefuirii si a polisarii.

2. Consideratii tehnologice:

Prelucrarea sticlei optice prezinta dificultati aparte fata de prelucrarile mecanice din mai multe motive:

- duritatea mare a sticlei (≈8 pe scara Mohs);

- precizia dimensional deosebita ceruta piselor optice;

- rugozitatea suprafetelor optice active care asigura transaparenta pieselor optice este cuprinsa intre 0.003÷0.012 µm.

Particularitati de prelucrare ale piselor optice:

- prelucrarile se pot executa numai cu material abrazive;

- prelucrarea unei piese se face de la semifabricat pana la piesa finita folosind o singura asezare;

- controlul suprafetelor finisate se poate face numai intreferometric cu calibre optice sau pe interferometru.

Suprafetele active ale pieselor optice se obtin prin succesiunea a doua operatii (excluzand operatia de debitare):

- slefuire – prin care se asigura obtinerea preciziei dimensionale;

- polisare – prin care se asigura transparent suprafetei sau o inalta calitate a rugozitatii.

Controlul slefuirii consta in:

- verificarea dimensiunii obtinute cu micrometrul sau sublerul;

- verificarea acuratetei cu lupa: se constata daca piesa are fisuri, intepaturi, pori.

Controlul polisarii consta in:

- verificarea preciziei dimensionale cu calibre optice care prin aspectul si numarul N al franjelor de interferenta pun in evident marimea abaterii de la planeitate sau sfericitate;

- verificarea acuratetei cu lupa pune in evident pete oxidate, puncte, zone neprelucrate.

3. Utilaje necesare:

- Stung cu pedala;

- Platou de blocare;

- Platou de slefuire cu abraziv liber;

- Polisor;

- Parafina de blocare;

- Suspensie de carborund M28 si M14 in apa;

- Micrometru sau subler;

- Suspensie de oxid de ceriu - 3µm in apa;

- Lupa;

- Calibru optic plan;

- Placuta de sticla

Slefuirea si polisarea lamelor plan paralele

Fotolitografia

Corodare cu imersie

Corodarea automata